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气体质量流量传感器
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AWM2000系列气流质量传感器
供电电源：
8.0～15VDC
流量范围：
±200sccm，±30sccm，±1000sccm
输出信号：
mv
工作温度：
-25～85℃
接口形式：
直行
测量介质：
干燥干净气体
精确度：
±4%
AWM3000系列气流质量传感器
供电电源：
8.0～15VDC
流量范围：
±200sccm，±30sccm，±1000sccm
输出信号：
1~5VDC
工作温度：
-25～85℃
接口形式：
直行
测量介质：
干燥干净气体
精确度：
±4%
AWM4000系列气流质量传感器
供电电源：
8.0～15VDC
流量范围：
±25sccm，±1000sccm，6LPM
输出信号：
mv
工作温度：
-25～85℃
接口形式：
直行
测量介质：
干燥干净气体
精确度：
±2.5%
AWM5000系列气流质量传感器
供电电源：
8.0～15VDC
流量范围：
5，10，15，20LPM
输出信号：
1~5VDC
工作温度：
-25℃~85℃
接口形式：
1/4NPT
测量介质：
干燥干净气体
精确度：
±3%
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